賽默飛分子泵是一種機(jī)械式真空泵，通過高速旋轉(zhuǎn)的多級(jí)渦輪轉(zhuǎn)子葉片和靜止葉片的組合進(jìn)行抽氣的，在分子流區(qū)域內(nèi)對(duì)被抽氣體產(chǎn)生很高的壓縮比，從而獲得所需要的真空性能。集兩種泵的優(yōu)點(diǎn)于一體，能在很寬的壓力范圍10-6~1pa內(nèi)，具有較大的抽速和較高的壓縮比，大大提高了泵的出口壓力。

　　分子泵內(nèi)有多組相間動(dòng)輪葉和定輪葉，每一個(gè)輪葉上有許多按一定角度斜置的葉片。實(shí)際的分子泵都是由多級(jí)葉列串聯(lián)組成，即按動(dòng)片、定片、動(dòng)片等依次交替排列。動(dòng)葉片轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)又類似于電風(fēng)扇葉片的作用，能將氣體從一側(cè)抽到另一側(cè)。提高分子泵的轉(zhuǎn)速，有利于提高賽默飛分子泵的抽速。由于葉片轉(zhuǎn)速限制，如果氣體分子運(yùn)動(dòng)速度較大，泵抽真空就比較困難。

　　操作要求：

　　1、氣路接口的快接法蘭的螺桿應(yīng)朝上，以防松弛造成漏氣；

　　2、不能在大氣狀態(tài)下開分子泵，必須在達(dá)到10Pa時(shí)才能打開其相應(yīng)的高閥，開啟分子泵；

　　3、每次停機(jī)后，務(wù)必清潔各分子泵的進(jìn)氣口處，使其保持干凈，以避免不必要的損壞；

　　4、當(dāng)出現(xiàn)報(bào)警信息“EF”時(shí)，應(yīng)檢查冷卻水路是否通暢。確保水路順暢后，方可再次打開分子泵。而當(dāng)出現(xiàn)其他報(bào)警信號(hào)時(shí)，嚴(yán)禁再次啟動(dòng)，待后處理；

　　5、在出現(xiàn)問題而不能使用時(shí)，應(yīng)暫停生產(chǎn)，手動(dòng)充大氣后，更換備用的；

　　6、當(dāng)始終達(dá)不到啟動(dòng)條件時(shí)，應(yīng)檢查前級(jí)泵和電磁閥工作是否正常；

　　7、當(dāng)出現(xiàn)故障時(shí)，須根據(jù)賽默飛分子泵故障提示作相應(yīng)處理。